主要技術(shù)指標(biāo)：

※  溫度范圍：室溫—350℃（硅片上邊溫度）

※  控溫精度：±1℃

※  溫度分辨率：0.1℃

※  樣品尺寸：8英寸（需要有固定夾具，還有10mmx10mm,20mmx20mm樣品也需要考慮單獨(dú)固定）

※  樣品溫度：精圓上單獨(dú)放一個溫度計，測量精圓表面溫度（溫度計封裝在鍍金無氧銅塊內(nèi)，銅塊與精圓 接觸測溫，使用比較細(xì)的軟線方便移動與測量）

※  磁場強(qiáng)度：＞1000oe（樣品測試處磁場）

※  持續(xù)工作時間：5小時

※  樣品臺尺寸：210mm （根據(jù)實際可更改，不小于8英寸），

※  樣品臺采用三維移動方式，移動行程:±110mm,移動精度：10um

※  樣品臺主要零部件材質(zhì)均為上等無磁合金制作；

※  在室溫到350度，升溫速率優(yōu)于10K/min，*高加熱溫度350℃；控溫精度：±1℃；

※  加熱時，加熱絲被封裝在石英管內(nèi)，極大程度的減少由于加熱絲的揮發(fā)造成樣品表面附著物的污染；

※  匹配磁鐵電源：雙極性，穩(wěn)定度優(yōu)于±25ppm/h，平滑過零無斷點(diǎn)；

※  匹配電磁鐵：長時間運(yùn)行穩(wěn)定度<±0.5Gs；

※  冷卻方式：自然冷卻。

軟件1.1功能介紹：

※ 可以控制電流掃場，

※ 可以控制溫度變化，

※ 可以輸出電流測電壓得到電阻，

※ 可以輸出電壓測電流得到電阻，

※ 測試程序需要輸出數(shù)據(jù)及測試圖，

※ 采集記錄精圓處測量的數(shù)據(jù)

顯微鏡功能介紹H5608

※  采用積木式結(jié)構(gòu)，平行光路光學(xué)系統(tǒng)；

※  0.6-5.0X連續(xù)變倍，1:8.3大變倍比。高分辨率、高對比度成像。重復(fù)定位；精度高，重復(fù)精度可達(dá)1um；

※  標(biāo)配工作距離：86mm；

※  CCD接口可選：0.5X；

※  不同倍率輔助物鏡倍率可選：0.3X-2.5X。

※  采用842萬像素索尼新一代高動態(tài)范圍CMOS 圖像傳感器；

※  采用1/1.8英寸圖像傳感器；

※  HDMI*高4K 60幀圖像輸出；

※  支持拍照 ,JPG格式；

※  支持手動一鍵曝光

※  支持手動一鍵白平衡，紅、綠、藍(lán)可調(diào)；

※  提供8條畫線功能，線條顏色、粗細(xì)，位置可調(diào)；

※  支持U盤存儲；

※  支持鼠標(biāo)操作；

※  拍照不抖動圖像更清晰；

※  支持中/英/繁語言（默認(rèn)英文）；

※  支持關(guān)機(jī)設(shè)置參數(shù)保存；

※  采用CNC精銑技術(shù)加工鋁合金外殼；

設(shè)備配置

※  定制高溫加熱樣品臺：1

※  手動探針：4

※  定制高溫控溫儀：1  JH401

※  定制電磁鐵：1  DZ-12

※  雙極性恒流電源：1   JCP-5/40SA

※  定制三維手動位移臺：1   PT80-50

※  樣品處溫度傳感器，及顯示器：1  PT100-BO

※  定制軟件： 1套

※  內(nèi)置高斯計：1臺

※  臺式計算機(jī)：1臺

※  顯微鏡：1套H5608