探針臺怎樣維護和保養(yǎng)
探針臺,是我們半導體實驗室電學性能測試的常用設備,主要用于晶圓加工之后、封裝工藝之前的 CP 測試環(huán)節(jié),負責晶圓的輸送與定位,確保從晶圓表面向精密儀器輸送更穩(wěn)定的信號,使晶圓上的晶粒依次與探針接觸并逐個測試,實現(xiàn)更加**的數(shù)據測試測量。
探針臺怎樣維護和保養(yǎng)
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那探針臺怎樣維護和保養(yǎng)呢?
1.避免碰撞:在安裝,操作探針臺時應避免碰撞,機體放置需平坦,不可傾斜或橫倒,避免機器發(fā)生故障或異常異音。
探針臺怎樣維護和保養(yǎng)
2.儀器的運輸:儀器運輸時,請先拔掉電源線插頭。儀器運輸應使用專門的包裝箱,避免碰到探針臺的任何運動部件。
探針臺怎樣維護和保養(yǎng)
3.儀器的存放:使用完后需要注意保持清潔,盡量把灰塵吹干盡,以免灰塵將機械精密部件,光學部件,電學接觸面污染,導致儀器精度降低。探針臺機體清潔時,避免直接潑水清理,以無塵布輕輕擦拭并吹干即可。不可用硬物接觸機器,以免發(fā)生故障或危險。探針臺光學部件清潔時,可用鏡頭紙蘸無水酒精從中間向外輕輕的擦拭。無水酒精時易燃物,注意使用**。停電或長期不用、外出旅行時,請將電源線插頭拔掉以維護機器壽命。操作人員必須嚴格按要**作,以保證數(shù)據的準確和儀器的正常使用。
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4.工作環(huán)境:探針臺應放在穩(wěn)定可靠的臺面上,*好是具有防震裝置的工作臺上,避免在高溫,潮濕激烈震動,陽光直接照射和灰塵較多的環(huán)境下使用。