選擇探針臺時需要注意哪些事項

探針臺是一種很專業(yè)的儀器，它主要的功能就是針對半導(dǎo)體元件進(jìn)行檢測，這里面說的半導(dǎo)體元件指的是集成電路，分立器件，光電器件，傳感器等元件以及封裝的測試。通過探針臺配合測量儀器可完成集成電路的電壓，電流，電阻和電容電壓特性曲線等參數(shù)檢測?？梢赃m用于對芯片進(jìn)行科研分析，抽查檢測等；可以保證這些半導(dǎo)體元件的質(zhì)量，縮短研發(fā)時間和器件制作工藝的成本，所以，它的存在對于制造半導(dǎo)體的企業(yè)來說是非常重要的。

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以下是探針臺選型注意事項

※zui大需要測幾inch的晶圓或者器件？是否需要測試破片或者單顆芯片，*小的單顆芯片尺寸？
※探針臺機(jī)械精度要求多高？ 
※點測樣品的電極尺寸？100μm *100μm或60μm *60μm的pad，還是FIB制作的mini pad，或者ic內(nèi)部的metal線路？ 
※*多需要幾個探針同時去點測？ 
※是否會用到探針卡測試？ 
※光學(xué)顯微鏡的*小分辨率需要用到多少？ 
※顯微鏡方面，是否需要添加偏光片做LC液晶熱點偵測？ 
※探針點測時，對電流的要求能否達(dá)到100fa或者以下？低

電容要求能否要做到0.1pf？是否有射頻需求？ 
※接駁的測試儀器接口有哪些？ 
※測試環(huán)境時是否會需要加熱或者降溫？ 是否需要密閉腔體？
※對chuck的漏電要求怎樣？是否需要添加低阻抗chuck？ 
※是否需要防震桌？ 
※若添置防震桌，是否有壓縮空氣？

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