近日，我公司為江蘇某科技企業(yè)成功安裝一套高溫磁場(chǎng)加熱系統(tǒng)。
主要技術(shù)指標(biāo)：
※ 溫度范圍：室溫—350℃ （硅片上邊溫度）
※ 控溫精度：±1℃
※ 溫度分辨率：0.1℃
※ 樣品尺寸：8英寸（需要有固定夾具，還有10mmx10mm,20mmx20mm樣品也需要考慮單獨(dú)固定）
※ 樣品溫度：精圓上單獨(dú)放一個(gè)溫度計(jì)，測(cè)量精圓表面溫度（溫度計(jì)封裝在鍍金無(wú)氧銅塊內(nèi)，銅塊與精圓接觸測(cè)溫，使用比
較細(xì)的軟線方便移動(dòng)與測(cè)量）
※ 磁場(chǎng)強(qiáng)度：＞1000oe（樣品測(cè)試處磁場(chǎng)）
※ 持續(xù)工作時(shí)間：5小時(shí)
※ 樣品臺(tái)尺寸：210mm （根據(jù)實(shí)際可更改，不小于8英寸），
※ 樣品臺(tái)采用三維移動(dòng)方式，移動(dòng)行程:±110mm,移動(dòng)精度：10um
※ 樣品臺(tái)主要零部件材質(zhì)均為上等無(wú)磁合金制作；
※ 在室溫到350度，升溫速率優(yōu)于10K/min，*高加熱溫度350℃；控溫精度：±1℃；
※ 加熱時(shí)，加熱絲被封裝在石英管內(nèi)，極大程度的減少由于加熱絲的揮發(fā)造成樣品表面附著物的污染；
※ 匹配磁鐵電源：雙極性，穩(wěn)定度優(yōu)于±25ppm/h，平滑過(guò)零無(wú)斷點(diǎn)；
※ 匹配電磁鐵：長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)行穩(wěn)定度<±0.5Gs；
※ 冷卻方式：自然冷卻。
軟件1.1功能介紹：
※ 可以控制電流掃場(chǎng)，
※ 可以控制溫度變化，
※ 可以輸出電流測(cè)電壓得到電阻，
※ 可以輸出電壓測(cè)電流得到電阻，
※ 測(cè)試程序需要輸出數(shù)據(jù)及測(cè)試圖，
※ 采集記錄精圓處測(cè)量的數(shù)據(jù)
顯微鏡功能介紹
※ 采用積木式結(jié)構(gòu)，平行光路光學(xué)系統(tǒng)；
※ 0.6-5.0X連續(xù)變倍，1:8.3大變倍比。高分辨率、高對(duì)比度成像。重復(fù)定位；精度高，重復(fù)精度可達(dá)1um；
※ 標(biāo)配工作距離：86mm；
※ CCD接口可選：0.5X；
※ 不同倍率輔助物鏡倍率可選：0.3X-2.5X。
※ 采用842萬(wàn)像素索尼新一代高動(dòng)態(tài)范圍CMOS 圖像傳感器；
※ 采用1/1.8英寸圖像傳感器；
※ HDMI*高4K 60幀圖像輸出；
※ 支持拍照 ,JPG格式；
※ 支持手動(dòng)一鍵曝光
※ 支持手動(dòng)一鍵白平衡，紅、綠、藍(lán)可調(diào)；
※ 提供8條畫(huà)線功能，線條顏色、粗細(xì)，位置可調(diào)；
※ 支持U盤(pán)存儲(chǔ)；
※ 支持鼠標(biāo)操作；
※ 拍照不抖動(dòng)圖像更清晰；
※ 支持中/英/繁語(yǔ)言（默認(rèn)英文）；
※ 支持關(guān)機(jī)設(shè)置參數(shù)保存；
※ 采用CNC精銑技術(shù)加工鋁合金外殼；
設(shè)備配置
※ 定制高溫加熱樣品臺(tái)：1
※ 手動(dòng)探針：4
※ 定制高溫控溫儀：1 JH401
※ 定制電磁鐵：1 DZ-12
※ 雙極性恒流電源：1 JCP-5/40SA
※ 定制三維手動(dòng)位移臺(tái)：1 PT80-50
※ 樣品處溫度傳感器，及顯示器：1 PT100-BO
※ 定制軟件：1套 1.1
※ 內(nèi)置高斯計(jì)：1臺(tái) GP5
※ 臺(tái)式計(jì)算機(jī)： 1臺(tái)
※ 顯微鏡：1套
